精密機械工学科・精密工学専攻
精密工学専攻の石原汰公さんが国際会議ISAAT2024にて「Excellent paper award」を受賞
2024年12月04日
精密工学専攻・鈴木(教)研究室(博士前期課程2年)の石原汰公さんが国際会議ISAAT2024(The 26th International Symposium on Advances in Abrasive Technology)にて「Excellent paper award」を受賞しました。
【学会名】
ISAAT2024(The 26th International Symposium on Advances in Abrasive Technology、第26回 国際先端砥粒加工シンポジウム)
【開催日時・場所】
17 - 20 November 2024・Hotel Slovenija (Portoroz、Slovenia)
【論文タイトル】
Development of a process model of micro-nano patterns toward a novel model-based process control in chemical mechanical polishing
（邦題：CMPにおける新しいモデルベースプロセス制御に向けたマイクロ・ナノパターンのプロセスモデルの開発）
【論文著者】
Taku Ishihara and Norikazu Suzuki
【受賞名】
Excellent paper award
